影视诸天从知否开始第八十六章 质疑剽窃

李皓深谙打人要打脸的道理只可惜这回他们似乎是没脸来重新又换了一批人。

虽然依旧那般的傲慢年纪也是一般的大但总归是差了点感觉。

正当李皓都不想搭理他们的时候他们却又主动上门来找虐。

因为在光刻机研究卡壳在193nm的这些年里日本和阿斯麦公司选择了不同的路线。

日本人坚持以往思路继续迭代技术去研发新的光源坚持在传统干式微影技术上一条路走到底。

而阿斯麦则因为加入了美国牵头的EUV联盟就主张使用极紫外技术生产设备。

从后面的发展情况来看EUV技术无疑更先进日本在选择传统派阵营时其实就已经输了。

但事实上日本人也并非不愿意尝试极紫外光技术而是被美国别有用心的排除在了门外。

毕竟即使它们再怎么愿意当儿子也架不住人家的忌惮。

就像是之前的广岛协议一般美国是不会允许有人来实际威胁他们的地位的即使是干儿子也不行。

只不过在现如今的阶段因为技术储备的原因双方暂时都没有达成目标。

不过相比于极紫外光技术依旧存在的很多技术难关日本人这里的157nm F2激光的研发却已经有了实质性进展。

所以在这个时候对于中国人弄出来的浸润式光刻机就让他们极为排斥。

因为它们能从现有公布出来的数据中看出来浸润式光刻机的后续开发空间巨大。

只需要调整光刻胶上面的液体密度就能将193nm的光波长折射成需要的精度。

而且最重要的一点这种浸入式方案属于小改进大效果有着以往的产品经验稳定性和开发速度必然都不是它们的新产品能比的。

要知道它们为此可是投入了重资一旦先机被抢走了那投进去的钱不就全打了水漂。

反观阿斯麦这里见到了这台光刻机之后反应也是非常强烈。

随即就找到了林奔坚询问情况原来就在今年的早些时候他们就已经和林奔坚取得了联系并最终同意了对林奔坚给的浸润式方案进行实验。

结果他们这还在实验中的方案现在却见这里已经拿出了成品当然就想要问清楚。

林奔坚对此也是一头雾水好在他脑子里面还有理智没有选择直接跳出来。

而是在徐教授发完言下台后赶忙就带着阿斯麦的人找到了徐教授。

“徐教授我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的？” 徐教授之前听李皓提起过这位也听过他的一些研究方向。

所以对于他的质问并没有太过意外：“这个自然是我们基于浸没式光刻技术自行研发出来的成果有什么问题吗？” 浸没式光刻起源于浸润式显微镜是由一个意大利科学家在1855年发明的。

相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上这个显微镜的功能则是将图案放大到CCD探测器上。

虽然是两个不同的领域但根本的原理却是相通的所以徐教授这么说也没问题。

可是架不住林奔坚不信啊质疑道：“真的是这样吗？我记得之前曾经有一位大陆人接触过我希望我能加入到国内的实验室工作。

虽然当时他并没有说哪家实验室但看现在情况他应该和您是一起的吧。

您可能还不知道我已经和阿斯麦公司达成了合作也正在研究浸没式光刻机。

” 听到这话徐教授也是不由皱起了眉头：“所以你是怀疑我们偷取了你的研究成果？这简直就是个笑话。

就不说浸没式的概念早在上个世纪就有人提出过就算是有关光刻机的具体理论也是在1980年由列支敦士登公国的W.Tabarelli和E.W.Lobach提出。

并且还在美国申请了专利这个和你好像也没什么关系吧所以你指的偷取成果是从何而来。

” 这话堵得正中核心毕竟老美自己的专利认可它们总不能来自打嘴巴。

徐教授这里聚集了一堆人也让在后面关注的李皓注意到了。

于是便走了过来询问发生了什么事情。

徐教授不客气的说道：“这位是台岛的林奔坚教授刚刚质疑我们剽窃成果。

” “林教授之前你虽然没有接受邀请但谈的也算是愉快不用这么有敌意吧。

” 听到李皓就这么承认了这件事林奔坚心里就更坐实了自己的想法。

不过他也是认识李皓的毕竟之前他在美国工作了二十几年怎么会不知道李皓这么个风云人物。

当着李皓的面纵使他心里有不满也得收敛起来。

“我只是合理怀疑而已毕竟贵公司曾经和我接触过而我之前就是在做关于这方面的研究。

” 李皓笑道：“那你可能是误会了有关浸没式光刻机的专利授权我们已经从W.Tabarelli和E.W.Lobach手中获取到了。

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